台积电大规模购买 EUV 光刻机 以提高产能保持业界领先地位

来源：天极网

台积电作为全球领先的半导体厂商，现在有外媒报道称其正在大规模购买 EUV 光刻机，以此来保持其在业界的领先地位。

根据 TOMSHARDWARE 报道，台积电表示其部署的极紫外光 ( EUV ) 光刻工具已占全球安装和运行总量的 50% 左右，这意味着其使用的 EUV 机器数量超过了业内其他任何一家公司。

为了保持领先，台积电已经下单订购了至少 13 台 ASML 的 Twinscan NXE EUV 光刻机，将会在 2021 年全年交付，不过具体的交付和安装时间表尚不清楚。

同时，明年台积电实际需求的数量可能是高达 16 到 17 台 EUV 光刻机。

当然台积电不是唯一采购大量 EUV 光刻机的半导体制造商，现在三星为了争夺更多的半导体订单，正在扩大 EUVL 工艺在生产上的应用，三星半导体也提高了基于 EUV 工艺的 DRAM 的生产，这也将使三星会更多的采用 Twinscan NXE 光刻机。